等离子清洗机解决了湿法去除晶圆表面光刻胶反应不准、清洗不彻底、容易引入杂质等缺点。不需要有机溶剂，plasma清洁不污染环境。这是一个低成本的绿色清洗methoda干洗等离子清洗机具有很强的可控性,一致性好,不仅完全去除光刻胶的有机物,而且激活和粗晶片表面,提高晶圆表面wettabilityPlas
