等离子体中的电子从电场中获取能量，表面活化剂的实质作用转化为自由的高能电子，与气体中的原子和分子碰撞，产生激发和电离，产生激发分子，但原子、离子和自由基非常不稳定.化学反应它具有很强的性质，容易发生通常不可能发生的反应，导致新化合物和加工材料失重。在此过程中，表面层被蚀刻以产生新的性能（例如减重、吸
