..常用于引线键合、铜引线框芯片键合加工、PBGA等工艺。如果要增强蚀刻效果，pbt材料附着力促进剂请注入氧气（O2）。通过与氧气（O2）配合清洁真空室内部，可以合理去除光刻胶等有机化学污染物。氧气（O2）注入主要用于芯片键合、光清洗等工艺精密加工。还有很多氧化性物质很难去除，可以用氢气（H2）清洗
