等离子清洗还具有易于使用的数控技术、先进的自动化、高精度的控制设备、高精度的时间控制、正确的等离子清洗，真空等离子清洗分子泵组厂家不会在表面产生损伤层，保证表面质量。由于是在真空中进行的，所以不会污染环境，清洗面不会二次污染。下面以氧等离子体去除物体表面的油脂和污垢为例来说明这些效果。分析表明，等离
