在均匀等离子体中，附着力一级大于离子和电子电流在一个 RF 循环中局部平衡，栅极氧化物电位很小，而在异质等离子体中，局部尺度的电位不平衡会导致晶片表面保持平衡。 .栅氧化层损坏。 (3)电子遮光效果。等离子体中的电子具有比离子或电子低的方向性。离子入射角分布大于离子入射角分布，容易用光刻胶屏蔽，阳离
