nc = 1.2425 × 108 v2这里,iso2409附着力胶带nc 是等离子体态的密度 (cm-3),v 是激发频率 (Hz)。有三种常用的等离子体激发频率。激发频率为40 kHz的等离子体为超声波等离子体,13.56 MHz的等离子体为射频等离子体,2.45 GHz的等离子体为微波等离子体