但是，等离子刻蚀设备如果腔体内的压力降得太低，将没有足够的活性离子在有效时间内清洁工件。化学等离子清洗工艺产生的等离子与工件表面发生化学反应，因此离子数越高，清洗能力越好，必须使用更高的腔室压力。射频功率射频功率的大小影响等离子的清洗效果，进而影响封装的可靠性。增加等离子体射频功率会增加等离子体的离
