因此，fpc软板盲孔蚀刻机作者开发了另一种混合气体 Cl2 / N2 / Ar 使用不同的蚀刻机制并添加 N2 以更好地利用物理冲击去除磷化铟。这种方法可以实现垂直的磷酸盐钢图案。表 8.2 总结了对不同流量比的蚀刻速率和选择性的研究。没有N2，选择性更高，但表面粗糙度更差。 N2 的量不断增加。
