不同处理材料、工艺需要以及产能要求，附着力系数和制动力系数对电极结构的设计是不一样的；汽体流向会构成一个气场，对等离子体的运动、反应、均匀性都会有影响；物品的摆放位置，会影响到电场和气场特性，导致能量分配不均衡，局部等离子密度过大而烧板。除了以上几个因素外，实践证明等离子刻蚀机的处理时间、电源频率、
