等离子体化学气相沉积 3. 低温等离子体化学气相沉积法制备碳纳米管 由于等离子体在低温下的高活性，玻璃有雾气怎么处理等离子体化学气相沉积（PECVD）可以显着降低温度。成膜范围。正常情况下，高质量碳纳米管的生长需要800℃以上的衬底温度。能够将温度降低到 400°C 以下将对许多应用非常有利。碳纳米
