AR 和 H2 的混合气体可在等离子清洗机中使用数十秒，表面改性抗细菌粘附以去除铜引线框架上的氧化物和有机物。等离子清洗机可以达到改善表面性能和提高焊接、封装和键合可靠性的目的。等离子清洗机（PLASMA CLEANER）又称等离子刻蚀机、等离子脱胶机、等离子活化剂、等离子清洗机、等离子表面处理机、
