同时，引线框架等离子体表面清洗机器CH4的转化率随着能量密度的增加呈对数上升趋势，CO2的转化率随着能量密度的增加呈线性上升趋势。这可能与等离子等离子体下甲烷和二氧化碳的分解特性有关。甲烷不断分解。也就是说，单个甲烷分子的转化往往会消耗多个高能电子。甲烷。对于甲烷转化，您需要选择较低的能量密度。能量
