继电器触点氧化层去除、精密零件表面油污、焊接剂等有机清洁剂。低温宽带等离子清洗机 物理反应等离子清洗也称为溅射蚀刻（SPE）或离子铣削（IM），外延片蚀刻其优点是无需化学反应即可清洗表面不留下任何氧化物。被清洗物体的化学纯度和腐蚀作用是各向异性的。缺点是对表面损伤大，热效应大，对被清洗表面的各种物质
