例如,拉开发检测附着力怎么做氧等离子体氧化性高,可氧化光刻胶产生气体,从而达到清洗效果;腐蚀气体的等离子体具有良好的各向异性,可以满足刻蚀的需要。等离子体处理会发出辉光,故称辉光放电处理。等离子体清洗设备的机理主要取决于“激活”达到去除物体表面污渍的目的。转瓶等离子清洗设备在