示例：Ar + e- → Ar ++ 2e-Ar ++ 污染 → 挥发性污染Ar + 在自偏压或外偏压的影响下被加速产生动能，贵州真空等离子清洗的干式螺杆罗茨真空泵安装进而冲击放置在其上的被清洗工件的表面。经过负极后，工件表面的污染物受到冲击，在型腔内解离，然后通过真空泵抽出型腔。通常用于去除氧化物
等离子体清洗机的种类很多，广东生产等离子清洗机腔体性价比高通常可分为常压等离子体清洗机和真空等离子体清洗机。区别在于工作时的气压环境。前者为大气放电，后者在低压真空环境下产生辉光放电。无论哪一种，等离子体的产生过程基本相同。物质从低能聚集状态向高能聚集状态的转变需要外界提供足够的能量，形式包括加热、