在等离子体设备的等离子气氛中，如何清除非亲水性灰尘自由基可以在聚合物材料的表面链上形成，这些自由基可以与离子源的自由基结合，在聚合物表面形成新的官能团。自由基的形成在等离子体浸没式干蚀刻过程中起着关键作用。例如聚合物表面一般是疏水的，材料表面在引入一些极性官能团后变得亲水。亲水性表面往往大大提高了材
