该装置一般可由真空室、真空泵、高频电源、点击器、气体导入系统、工作传动系统和控制系统组成。常用的真空泵是旋转油泵，云南小型真空等离子表面处理机找哪家高频电源通常使用13.56MHz的无线电波。02-等离子表面处理器在大学实验室的操作流程如下：（1）将待处理样品放入真空室固定，启动运行装置，启动排气，
