1950年代，直流等离子体化学气相沉积今天，冷等离子体广泛应用于医药、电子、工业、军事和日常生活中，最初中性原子在高温或强电场的作用下被电离，形成一对可以自由移动的正负离子。正负离子总是成对出现，正负离子数量相同，这种物质的状态也叫低温等离子体，电离破坏正负离子，正负离子间的静电键被破坏.此时正离子
