一方面，亲水性材料名词解释电子对物体表面的冲击能促进吸附在物体表面的气体分子分解释放，另一方面，大量电子的冲击有利于化学反应。因为电子的质量很小，它们的运动速度比离子快得多，所以当等离子体被处理时，电子比离子先到达表面，使表面带负电荷，这有利于进一步的反应。(b)P4法与不P4法的碳耗尽层比较刻蚀后
