机械应力的产生是因为在集成电路的金属互连和保护绝缘层工艺中会有不少高温过程，矿物中亲水性最强的是 由于金属材料和绝缘材料的热膨胀系数不一样，这些高温过程会在金属层铝或铜中引入较大 的应力，机械应力的大小与温度成反比。应力所造成的金属层中空洞的成核或生长是一种扩 散过程，其与温度成正比。在机械应力与扩
