真空等离子处理紫外辐射破坏污染物每秒只能穿透几纳米的厚度，亲水性滤芯测试方法因此污染物层不能做得太厚。指纹也可以。 1.2 氧化物去除金属氧化物与工艺气体发生化学反应。该过程使用氢气或氢气和氩气的混合物。也可以使用两步处理过程。第一步是用氧气氧化表面5分钟，第二步使用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也
