等离子清洗技术对经济和人类文明产生重大影响，中微半导体刻蚀机最新研发成果尤其是半导体和光电子行业。等离子清洗技术广泛应用于各种电子元件的制造，如果没有等离子清洗技术，电子、信息和电信行业就没有今天的发展。此外，等离子清洗机及其清洗技术对于改善光学、机械、航天、聚合物、污染控制、测量工业等产品以及光学
