达到一定真空度后，电晕机硅胶管耐高温吗引入反应气体，反应气体电离形成电晕，与晶圆表面发生化学物理反应，产生的挥发性物质被抽走，使晶圆表面清洁亲水。1.用于清洗晶圆的电晕：1-1：晶圆的电晕清洗在0级以上的洁净室中进行，对颗粒要求极高。任何颗粒超标都会在晶圆上造成无法弥补的缺陷。初始阶段用高纯N2产生
