实际上,只要能量控制合适,轻度的表面损伤反而可以极大地增强附着力,在某些情况下成为不可或缺的工艺,如:用Ar等离子体去除一些材料表面氧化物。当然,一些工艺试验表明,采用分步工艺法进行清洗,可以把这种损伤减小到最低程度。另外,国外现在已经展开了对等离子体清洗残余物毒性的深入研究。可靠、高质量的耦合是一
