等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、活化和表面准备等。主要是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。 晶圆等离子清洗机：等离子灰化/去光刻胶/聚合物剥离/预处理/介电质刻蚀/晶圆凸点/有机污染去除/晶圆减薄。等离子体清洗/蚀刻技术是针对等离子体特定性质的具体应用:等
