随着微电子工业的迅速发展，电晕机打火什么原因电晕技术在半导体工业中的应用也越来越广泛。随着半导体技术的不断发展，对工艺的要求也越来越高，尤其是对半导体晶片的表面质量要求越来越严格。主要原因是晶圆表面颗粒和金属杂质的污染会严重影响器件的质量和成品率。在目前的集成电路生产中，仍有50%以上的材料由于晶圆
