通过等离子去除大部分由胶水造成的污渍接近电子级，颗粒表面物理改性方法可以用真空泵去除。但是，它也会产生一些大颗粒污染物。大粒径污渍粘附在腔壁、电极和支架上。空腔壁上有一层“灰烬”，空腔底部已经掉得很厉害。 2. 电极和托盘支架的维护和翻新：长期使用后，电极和电极上会附着一层氧化层，碳氢化合物基材料经
