等离子体中存在以下物质:高速运动的电子,等离子体物理学导论电子版处于激发态的中性原子、分子和原子团(自由基);电离的原子、分子、分子解离反应产生的紫外线;未反应的分子、原子等,但物质作为一个整体仍然是电中性的。等离子体清洗的机理主要取决于“激活”达到去除物体表面污渍的目的。如