-用于清洁小孔的真空等离子设备：由于HDI电路板的内径已经减小，山西等离子涂层哪家好传统的化学水处理技术无法处理通孔结构的清洗，并且液体的界面张力导致产生液体。特别是在加工用激光束钻孔的微型通孔板时，稳定性不够。目前微埋孔钻孔技术主要有超声波清洗和低温真空等离子设备，但超声波清洗主要是促进清洗效果，
