例1：O2＋e-→2O*＋e- O*＋有机物→CO2＋H2O从反应式可见，氧等离子体刻蚀需要的设备氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变成易挥发的H2O和CO2。例2：H2＋e-→2H*＋e- H*＋非挥发性金属氧化物→金属＋H2O从反应式可见，氢等离子体
