用SiH4+SiH3+N2在300℃下沉积氮化硅，十八烷基键合硅胶非亲水性沉积速率为180A/min。非晶碳化硅薄膜由硅烷和含碳共反应物组成，得到SixC1+x:H，x为Si/Si+C的比值，硬度大于2500 kg/mm。选择渗透膜和反渗透膜是利用等离子体在多孔基底上沉积一层薄膜，用于分离混合物中的
