等离子刻蚀在等离子体蚀刻过程中，如何解决聚苯乙烯附着力被蚀刻的材料在工艺气体的作用下变成气相（例如，当硅用氟气蚀刻时，如下所示）。用真空泵将处理气体和基体材料抽出，表面不断覆盖新鲜的处理气体。不想要的蚀刻部分要用材料覆盖（例如半导体工业用铬作为覆盖材料）。等离子体方法也用于蚀刻塑料表面。氧气可以用来
