铝箔金属表面常有油脂、油污等（有机）物质和氧化层。在溅射、喷漆、键合、焊接、钎焊、PVD和CVD涂层之前，铝箔等离子体清洗机需要进行清洁处理，以获得完全（完全）清洁、无氧化物的表面。但现有技术多采用化学清洗方法，需要溶剂，不环保，容易出现&ldquo；氢脆；现象，去污效率（果）不理想，去污速度慢，易
