但是主蚀刻步骤对氮化硅和底部氧化硅没有选择比，气体表面改性是什么如果不加以控制，会对底部的体硅基体造成损伤。因此，等离子表面清洗机侧墙蚀刻主蚀刻步骤的终点监测一旦发现有底部氧化硅暴露出来，会立刻停止蚀刻，切换到过蚀刻步骤。 由过蚀刻步骤蚀刻掉主蚀刻步骤残留的氮化硅薄膜，同时停止在氧化硅薄膜上，防止对
