氩气和氯气主要用于通过添加聚合物蚀刻气体或改变偏置电压来控制图案形状，本色阳极氧化处理工艺获得具有不同侧壁形状的图案。其中，CH3F和氯气对泡沫的控制非常有效。偏置和流量调节对控制底面的形状起着重要作用。通过这些方法，可以控制锗的形态并调整极限尺寸。。在等离子刻蚀工艺中，腐蚀性物质在特定时间段内被气
