等离子清洗机不需要有机溶剂，外延片等离子体清洗对环境无污染，属于低成本的绿色清洗模式作为干洗等离子清洗机，可控性强，一致性好，不仅彻底去除光刻胶有机物，还活化、粗化晶圆表面，提高晶圆表面润湿性；等离子体清洗剂去除晶圆键合胶光致抗蚀剂晶圆清洁器-等离子体清洁器用于去除晶圆凸块工艺前的污染。它还可以去除
