在高频电场的作用下，隧道内的附着力变化图片形成垂直于晶片方向的自偏压，使离子获得较大的冲击能量。具有电容耦合等。等离子机发展初期，只有一个高频电源，高频电源功率的变化同时影响等离子密度和离子冲击能量，所以单一可控频容性耦合等离子体是令人满意的。它不会去。多频电容耦合等离子蚀刻机通过引入多频外接电源，
