虽然碳化硅更多用作衬底材料（相比氮化镓），外延片plasma蚀刻机但国内仍有企业从事氮化镓单晶生长，主要有苏州纳威、东莞中嘉、上海镓和芯元素基地等。国内从事氮化镓外延片的厂商主要有三安光电、赛微电子、海陆重工、晶展半导体、江苏能华、英诺赛科等。从事氮化镓器件的厂商主要有三安光电、闻泰科技、赛微电子、
