例如，电子电路刻蚀机可用作电子束提取窗、高频大功率电子器件、高灵敏度弹性表面波滤波器、切削工具等。气体分子的激发是通过将气体（以开放式设计提供）引入电场（通常是高频）来实现的。在高频电场的作用下，电子电路等离子体表面处理机器自由电子产生能量，与中性气体分子碰撞，传递能量并解离，形成许多活性物质。受激
