对于通孔蚀刻，金属表面改性处理技术规程在通孔蚀刻、静置蚀刻或化学机械研磨后，用于金属硬掩模的较高对齐的SAV(自对齐VIA)工艺比较低对齐的PT(穿孔)工艺产生更宽的介电宽度。然而，SAV工艺通孔底部尺寸相对较小，对应着较高的通孔接触电阻，因此在一般工程中有必要在这两种工艺之间选择一个折衷方案。。浸
