Zhou等人独立测试并分析了引入到每一层金属制造过程中的PID，pid亲水性研究了背面不同刻蚀工艺对PID的影响。金属层的介电腐蚀使接触孔的金属天线带电，在非常小的接触孔天线比(如20)时产生PID问题，而对于高层金属，在几千天线比时产生PID问题。金属层腐蚀时间越长，PID越差。高频功率与低频功率
