在平行板反应器中，电极电晕处理机反应电晕刻蚀腔选择小阴极面积和大阳极面积的非对称方案，待刻蚀物放置在面积较小的电极上。在进行电晕刻蚀操作时，射频电源产生的热量使质量小、移动速度快的负电荷自由电子快速到达阴极，而正离子由于质量大、速度慢，难以同时到达阴极。然后，在阴极附近会形成带负电荷的鞘层。清洗材料
