三通阀指向关闭状态(箭头向下)，连接器等离子体清洁机此时一般处于真空状态运行。a、先接通电源，启动真空泵，看真空泵旋转方向为顺时针(检测后关闭电源);在真空泵与等离子吸尘器密封连接的前提下，启动真空泵，然后用反应舱盖盖住反应室，让真空泵运转约5分钟。此时真空泵正在抽吸舱内空气(此时等离子吸尘器处于关
