等离子体是一种被称为&ldquo的电离气体状态；第四种物质状态&rdquo；由反应性粒子组成的，涂层附着力 招标如电子、离子和自由基。等离子体与固体的相互作用大致可分为三个子类型：等离子体刻蚀或清洗，将材料从表面去除；等离子体活化，表面被等离子体中存在的物质物理或化学修饰；等离子涂层，材料以薄膜形式
