◎可设定电源、清洗时间、气体流量、清洗真空等参数。◎气体质量流量计采用美国进口，附着力试验表格输入输出按模拟量，量程在0-200sccm范围内可无级调节，针形阀控制工艺气体流量。◎清洗后有提示音。◎反射功率过大报警◎泵热过载报警;反应室漏气报警;电极采用高通量等离子体结构，牢固可靠，拆卸方便。◎反应
