4.工作气体的选择对真空等离子体清洗设备清洗效果的影响：在真空等离子体清洗设备的清洗工艺设计中，提高不锈钢板的附着力的方法工艺气体的选择是关键。虽然大多数气体或气体混合物在很多情况下都能去除污染物，但净化率会有所不同，甚至是几十倍。例如，在氧气(O2)中加入不同比例的氟化硫(SF6)作为工艺气体来清
