在用 O2 进行等离子清洗期间，厦门真空等离子清洗机的真空泵组原理氧离子与有机分子反应形成 H2O 或 CO2 气化。当使用 AR 和 O2 的混合物进行吹扫时，反应速度比单独使用任何一种气体都快得多。氩离子通过负偏压加速，形成的动能可以提高氧气的反应能力，从而去除严重污染的器件表面。等离子清洗在键
