由于低压等离子体是低温等离子体，薄膜等离子除胶机器当压力约为133～13.3 Pa时，电子温度达到10000开尔文，而气体温度仅为300开尔文，不燃烧基板，能量充足。用于表面处理。 & EMSP; 低压等离子发生器越来越广泛地应用于等离子聚合、薄膜制备、蚀刻和清洗等表面处理工艺中。成功的例子包括半导
