这将不利于均衡化独立控制子密度和能量。因此，附着力百格试验一般在线圈与等离子体之间加一层静电屏蔽层，滤除线圈的电容耦合元件，而不影响电感耦合。线圈布置对机器的性能影响很大，不同厂家的感应线圈设计往往相差很大。主盘布局结构有盘香结构和圆柱形结构。3、电子回旋共振等离子体蚀刻机:电子回旋共振等离子体蚀刻
