好在现在许多等离子体蚀刻设备厂商都已经注意到在蚀刻过程中需要对非蚀刻区域或是特定功能层的保护，加固剂的附着力是什么样的已经有许多厂商推出或即将推出这类机型，以适应14nm以下节点的蚀刻需求。 同当下主流的蚀刻工艺一样，蚀刻温度是另一个重要参数。有趣的是石墨的蚀刻速率并不是随温度线性变化，而是有个峰值
